什么是能量分辨率？
1、能量分辨率：能譜儀測得的譜峰半高寬。
譜峰半高寬（FWHM：Full peak Width at Half Maximum )：譜峰扣除背底后強度最高值之半處的峰寬度。
注：最大峰強度是通過擬合相應的譜峰所有通道來測定，峰寬是在峰高一半處測量。
能量分辨率如何測量？
1、能量分辨率應用Mn-Kα峰的半高寬來表示。要說明測量分辨率的計數(shù)率。此線也可從一鐵55同位素放射源獲得。
2、對于可以檢測低于1KeV能量X射線的能譜儀，應該測定C-K和F-K線的峰半高寬。能譜儀在低能端的靈敏度相對于高能量區(qū)而言，明顯的依賴于探測晶體和X射線入射窗口材料
能量分辨率之高低有何影響？
所以，EDS的能量分辨率是獲得精確的成份數(shù)據(jù)的一個重要依仗，它描述了能量相近的譜峰的干擾情況，因為峰的重疊會對分析造成困難，因此分辨率高的譜儀對分析更有利。
