在EDS能譜測(cè)試過(guò)程中，當(dāng)兩種元素的譜峰能量很接近，以至于能譜儀對(duì)這兩個(gè)譜峰幾乎不能識(shí)別時(shí)（目前能譜儀的分辨率在133eV左右，當(dāng)兩種元素能量差異小于133eV時(shí)，能譜儀就不能識(shí)別出這兩種元素），就會(huì)造成譜峰重疊或者互相干擾。
例如：
Al的Kα能量為E=1.4866kev，而Br的Lα能量為E=1.4805kev。
由于兩者能量非常接近，以目前能譜儀的分辨率不能很好地分辨出差異，對(duì)元素的標(biāo)定造成了干擾。
那么應(yīng)該如何鑒別出此處到底是哪種元素呢？
在牛津INCA軟件中，有譜圖重建功能，如下圖。
對(duì)于一般的重疊元素，可通過(guò)刪除重疊元素其中一個(gè)，若重建的譜線圖無(wú)太大變化，則刪除的元素為干擾元素；若重建的譜線圖‘掉落’，即擬合度大大降低，則說(shuō)明存在此元素，如以下譜圖。
但此方法不適用于Al和Br的判定，如下圖:
那么我們應(yīng)該如何鑒別此類型的重疊或干擾的元素呢？
我們知道Al的Kα和Br的Lα能量接近，但是還應(yīng)該知道Br的Kα的能量為E=11.9089keV，也就是說(shuō)如果在11.9089keV處有譜峰，此處即為Br元素，反之則為Al元素。
所以總結(jié)起來(lái)最簡(jiǎn)單的重疊或干擾元素的標(biāo)定和鑒別方法有如下兩種：
1.重建譜線圖，刪除重疊元素中的一種，如果譜線圖無(wú)太大變化，說(shuō)明此元素為干擾元素；反之，若譜線圖‘掉落’，擬合度大大變差，說(shuō)明存在此種元素。
2.當(dāng)?shù)?種方法不適用時(shí)，可根據(jù)重疊元素的其他線系譜峰圖進(jìn)行鑒別。如果其他線系的能量處有譜峰，說(shuō)明此元素存在；反之說(shuō)明此元素為干擾元素。
