在現(xiàn)代的掃描電鏡和透射電鏡中，能譜儀（EDS）是一個重要的附件，它同主機(jī)共用一套光學(xué)系統(tǒng)，可對材料感興趣部位的化學(xué)成分進(jìn)行點(diǎn)分析、面分析、線分析。它的主要優(yōu)點(diǎn)有：（1）分析速度快，效率高，能同時對原子序數(shù)在11—92之間的所有元素（甚至C、N、O等超輕元素）進(jìn)行快速定性、定量分析；（2）穩(wěn)定性好，重復(fù)性好；（3）能用于粗糙表面的成分分析（斷口等）；（4）能對材料中的成分偏析進(jìn)行測量，等等。本文就EDS分析時需要注意的事項(xiàng)進(jìn)行一些淺顯的分析。
1.關(guān)于EDS的縮略術(shù)語及其含義
EDS (energy dispersive X-rayspectrometer）：能譜儀
同時記錄所有X射線譜的譜儀。
能譜儀不稱能量色散譜儀。
WDS（wavelength dispersive spectrometer）：波譜儀
不采用“波長色散譜儀”、“波長分光譜儀”。
EDX（Energy dispersive x-rayspectrometry)：能譜法
檢測X射線強(qiáng)度與能量關(guān)系的一種方法，不作為能譜儀的縮寫。
WDX（wavelength dispersive x-rayspectrometry）：波譜法
檢測X射線強(qiáng)度與波長關(guān)系的一種方法。不作為波譜儀的縮寫。
CRM（certified reference material）
有證參考物質(zhì)、標(biāo)準(zhǔn)樣品
RM（Reference material)：參考物質(zhì)；標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)
VPSEM（variable- pressure scanning electron microscope/ microscopy）：可變氣壓掃描電鏡
CPSEM (controlled pressure scanningelectron microscope):可控氣壓掃描電鏡。
ESEM( environmental scanningelectron microscope/microscopy)環(huán)境掃描電鏡；環(huán)境掃描電子顯微術(shù)；
2.影響能譜儀分辨率的因素
l 1、探測器因素：
Dispersion -121eV for Si, 104eV forGe
2、電子噪音。
3、不完全電荷搜集（ICC）。
l 4、X射線能量：FWHM2 = k . E + FWHM 2noiseK為常數(shù)，E為譜線能量
3.影響空間分辨率的因素
EDS分析的空間分辨率(X射線激發(fā)體積）和試樣表面分析區(qū)域的大小取決于如下因素：
1、加速電壓 :Zm=0.033(Ei1.7-Ek1.7)×ma/ ρZ
2、試樣密度
3、電子束直徑: D2＝C S2α6+CC2α2（△V/VACC）2+0.4*I/βα2
4. 正確認(rèn)識圖像分辨率
儀器的圖像分辨率指標(biāo)不是日常工作能實(shí)現(xiàn)的，只是儀器驗(yàn)收指標(biāo)。因?yàn)榕臄z分辨率照片時必須滿足如下幾個條件：
（1）拍攝分辨率照片是用碳鍍金的特殊試樣
（2）拍照時規(guī)定一些特殊條件，如放大倍率、電子束電流、加速電壓、工作距離等。
（3）一般要晚上沒有任何振動和干擾的特殊環(huán)境下進(jìn)行多次拍照，尋找最好的圖像測量分辨率。
日常工作無法滿足上述的特殊要求。分辨率還與圖像襯度、亮度、信噪比有關(guān)，分辨率測量誤差較大，只要能把分辨率放大到0.3mm、圖像清楚，肯定能達(dá)到分辨率要求，可以不實(shí)際測量兩個圖像特征之間的最小距離。
5.總結(jié)
以上幾點(diǎn)是我們在進(jìn)行EDS分析時需要注意的點(diǎn)以及會造成實(shí)驗(yàn)效果不理想的因素，在實(shí)驗(yàn)過程中可能遇到的問題遠(yuǎn)不止如此，還需要我們不斷學(xué)習(xí)，積累經(jīng)驗(yàn)，才能更好的解決EDS分析過程中遇到的問題。
