金相顯微鏡和掃描電子顯微鏡都是一般實驗室常用的儀器，在微觀領(lǐng)域的失效分析觀察起到重大作用。金相顯微鏡和掃描電子顯微鏡同樣適用于微觀領(lǐng)域分析的儀器，到底有哪些不同點呢？具體有一下幾點：
光源不同：光學(xué)顯微鏡采用可見光作為光源，電子顯微鏡采用電子束作為光源
成像原理不同：光學(xué)顯微鏡利用幾何光學(xué)成像原理進行成像，電子顯微鏡利用高能量電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號，再利用不同的信號探測器接受物理信號轉(zhuǎn)換成圖像信息。
分辨率：光學(xué)顯微鏡因為光的干涉與衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。電子顯微鏡因為采用電子束作為光源，其分辨率可達到1-3nm之間，因此光學(xué)顯微鏡的組織觀察屬于微米級分析，電子顯微鏡的組織觀測屬于納米級分析。
景深：一般光學(xué)顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對樣品的表面光滑程度具有極高的要求，所以制樣過程相對比較復(fù)雜。掃描電鏡的景深則可高達幾個毫米，因此對樣品表面的光滑程度幾何沒有任何要求，樣品制備比較簡單，有些樣品幾何無需制樣。體式顯微鏡雖然也具有比較大的景深，但其分辨率卻非常的低。
應(yīng)用領(lǐng)域：光學(xué)顯微鏡主要用于光滑表面的微米級組織觀察與測量，因為采用可見光作為光源，因此不僅能觀察樣品表層組織而且在表層以下的一定范圍內(nèi)的組織同樣也可被觀察到，并且光學(xué)顯微鏡對于色彩的識別非常敏感和準確。電子顯微鏡主要用于納米級的樣品表面形貌觀測，因為掃描電鏡是依靠物理信號的強度來區(qū)分組織信息的，因此掃描電鏡的圖像都是黑白的，對于彩色圖像的識別掃描電鏡顯得無能為力。掃描電鏡不僅可以觀察樣品表面的組織形貌，通過使用EDS、WDS、EBSD等不同的附件設(shè)備，掃描電鏡還可進一步擴展使用功能。通過使用EDS、WDS輔助設(shè)備，掃描電鏡可以對微區(qū)化學(xué)成分進行分析，這一點在失效分析研究領(lǐng)域尤為重要。使用EBSD，掃描電鏡可以對材料的晶格取向進行研究。
